ナイフゲートバルブ

クロスフロー圧力調整バルブ構造は、必要な作動力が減少し、デバイスの設置面積が減少するため、高流量圧力制御アプリケーションにとって魅力的です。ナイフゲートバルブを製造し、1.5バールの供給圧力で1.3Nl/minの流れを制御しました。バルブは、ディープ反応性イオンエッチング(DRIE)およびシリコン融合結合を使用して微細作製された。圧力制御システムにマイクロ機械加工ナイフゲートバルブを使用すると、性能が向上し、コスト削減を実現できます。